Classification of air cleanliness by particle concentration
Cleanroom หรือ ห้องสะอาด คือ ห้องหรือพื้นที่ที่มีการออกแบบและควบคุมปริมาณอนุภาค ฝุ่นละอองและสิ่งปนเปื้อนในอากาศขนาดต่างๆ ให้อยู่ในระดับที่ไม่เกินมาตรฐานที่กำหนด และจะต้องมีการเฝ้าระวังโดยการตรวจติดตามระดับความสะอาดให้อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดตลอดระยะเวลาการใช้งาน นอกจากนี้ยังมีการควบคุมปัจจัยอื่นๆ ตามที่ได้กำหนดไว้ เช่น อุณหภูมิ ความชื้นและความดัน
การวัดค่าความสะอาดในปัจจุบันอ้างอิงตามมาตรฐาน ISO 14644-1:2015 โดยมีข้อกำหนดในการจำแนกระดับความสะอาดโดยปริมาณของฝุ่นในอากาศ ดังนี้
ในการสุ่มตัวอย่างอากาศของมาตรฐาน ISO 14644:2015 จะมีรายละเอียดขั้นตอนดังนี้
1.เลือกจำนวนสุ่มตัวอย่าง (NL) จากใน Table A.1
2.แบ่งพื้นที่ (Section) ภายในห้องสะอาดเท่าๆ กัน ให้เท่าจำนวนสุ่มตัวอย่าง (NL)
3.เลือกจุดสุ่มตัวอย่าง (Sampling Location) ซึ่งเป็นตัวแทนของ พื้นที่ได้แบ่ง (Section) เอาไว้
4.ในแต่ละจุดสุ่มตัวอย่าง (Sampling Location) จะจัดวางเครื่อง Particle counter โดยให้ Probe อยู่ในระดับเดียวกับตอนทำงาน หรือตามที่กำหนด
สามารถเพิ่มจุดสุ่มตัวอย่าง (Sampling Location) โดยเลือกจุดที่มีความเสี่ยงสูง นอกจากนี้ยังสามารถเพิ่มพื้นที่ (Section) และจุดสุ่มตัวอย่าง (Sampling Location) ในแต่ละพื้นที่ ทั้งนี้ขึ้นกับการยอมรับและข้อกำหนดของผู้ใช้งานห้องสะอาดนั้นๆ